Description
TR Scan Premium permet de mesurer les surfaces les plus sensibles avec une rapidité et une précision étonnantes. Il est devenu incontournable dans de nombreux cas pour les applications de haute technologie, lorsque la mesure traditionnelle par contact a atteint ses limites. Appareils médicaux, prothèses, wafers, MEMS, semi-conducteurs, dépôts de couches métalliques, films polymères, composants optiques, recherche et développement, contrôle qualité, sont les domaines d’expertise du TR Scan Premium.
La vitesse de mesure exceptionnellement élevée associée à une précision de l’ordre du nanomètre constituent les principaux avantages du TR Scan. Quelques microsecondes seulement sont nécessaires pour l’acquisition d’une image tridimensionnelle.
- Sans contact
- Vitesse de mesure exceptionnelle
- Résolution nanométrique
- Logiciel de pointe
- Modèles de mesure préprogrammés
- Compatible avec les normes 2D et 3D
- Optiques interchangeables ou montées sur un carrousel
Données techniques
| Spécifications | CCM-L1 0,2mm | CCM-L1 1mm | CCM-L1 4mm |
|---|---|---|---|
| Plage de mesure verticale | 200 µm | 0,95 mm | 3,9 mm |
| Largeur de la ligne | 0,96 mm ± 0,01 mm | 1,91 mm ± 0,01 mm | 4,78 mm ± 0,02 mm |
| Espacement latéral | 5 µm | 10 µm | 25 µm |
| Distance de travail | 5,3 mm ± 0,2 mm | 18,5 mm ± 0,2 mm | 41 mm ± 0,2 mm |
| Taille du spot | 2 µm | 4 µm | 10 µm |
| Résolution latérale | 1 µm | 2 µm | 5 µm |
| Précision | ± 80 nm | ± 300 nm | ± 1,2 µm |
| Ouverture numérique | 0.7 | 0.55 | 0.33 |
| Angle de mesure maximal | 90°+/-44° | 90°+/-33° | 90°+/-20° |
| Plage de mesure de l’épaisseur | 20 μm – 280 μm | 75 μm – 1,35 mm | 300 μm – 5,5 mm |
| Mesure Ra minimale 1) | < 0.1 µm | < 0.8 µm | NA |
